�̰���ŷ�ƹ����豸���ش����򼽾���������֮��,�������ȷ��й̰��ֳǿ�����������˾��Ҫ���������������뼼����������Ⱦ���ƹ��˲�Ʒ�ͼ���ȫ�����ֵĸ��¼�����ҵ��רҵ������о���͹�������о������������о�����������ۣ���Ʒ�������֡�  

һ����ҵ���塢�����豸�õij�����о��������Ͳ�������˴����۳���о����������ζ��о���۳�������о��  

������ҵ���͡����嶯���豸��Һѹ����ϵͳ���߾����͹�������о����·��о��������о���������죬�DZ���о��������������  

�����ܵ�ϵͳ�õ���о���£�  

A����Ȼ���ܵ���������о  B��ú���ܵ���������о  C�������ܵ���������о  D����˹�ܵ���������о  E���ܵ��͹�������о  F���ܵ�ˮ��������о  G�����ֹܵ�ϵͳ���͹�������о��������о�����徻����о��  

�ġ�ѹ��������������о���͹�������о������������о  

��Ӧ�������£�  Ӣ��������������˹����ʢ�����հ������������ԡ���졢���������Ƹ֡����𡢰��ߡ������������������������������ߡ�����ȸ��ֹ��������ݸ�ѹ������  

�塢����ѹ�������Ч������о������ϵ��  (��������վ�豸��о)   

����������о���۳���оϵ��ʹ���ڣ�  

A����Դ��ˮ�࣬��������е�������������߻���ԭ�ϣ���������  B����ҩ�����̡�Ϳװ�������߻���ԭ�ϣ���������  C��ľҵ���׹⡢���衢���顢���Ƽ���ҵ�ķ۳��������ij���������о�� D���������塢�۳��Ȳ������������߼���豸��о������豸��о�� E���������������ר����о(����ͺ���ȫ)  

�ߡ��͹�������о�����ڣ�  

A��ѹ����·��������о  B�����ͻ�(��)��о  C����ѹ���͹�������о D�����ͻ����͹�������о  

�ˡ�����������������о��  

A�����ʽ����о����Ч����Ч����Ч������ B����ֽʽ��о�����˾��ȴ�10um��100um  C��������ά��о�����ȴ�0.5um��100um  D�����־�֬��ά��о��������ά��о��������ά��о��  

�š�Һѹ��о������о����ȴ��о��������о����ˮ��о��������о��������о���۳���о���۳�������о��ֽ����о��������о������̼��о��������о����ˮ������о������ʽ��о�����ͳ��ͳ�ˮ΢�ײ������о���մ��ս�ʽ��о��������ά�ս���о��������ĩ�ս���о�����Ϸ�ĩ�ս���о��������ս�����о��ʯӢɳ��о��ľ����άѹ����о��   

   ����˾��Ʒ�ֹ㷺Ӧ����ұ��ʯ�͡��������糧��ú̿����ɽ����ҩ��ʳƷ�����̻�е����ҵ��  

   ����˾��Ӫ����Ƽ�����  �������ޡ�